返回首页 在线留言 联系我们
首页 > 产品展示 > 德国HYDAC贺德克 > 贺德克HYDAC压力传感器 > HYDAC压力传感器HDA4745-A-400-000原厂供货

产品中心

HYDAC压力传感器HDA4745-A-400-000原厂供货

  • 型   号:
  • 时   间:2020-03-03
  • 价   格:

贺德克HYDAC压力传感器由碳原子和硅原子组成。利用离子注入掺杂技术将碳原子注入单晶硅内,便可获得优质的立方体结构的SiC。随着掺杂浓度的差异得到的晶体结构不同,可表示为β-SiC。β表示不同形态的晶体结构。用离子注入法得到的SiC材料,自身的物理、化学及电学特性优异,表现出高强度、大刚度、内部残余应力很低、化学惰性极强、较宽的禁带宽度(近乎硅的1-2倍)及较高的压阻系数的特性;因此,SiC材料

分享到:


贺德克HYDAC压力传感器由碳原子和硅原子组成。利用离子注入掺杂技术将碳原子注入单晶硅内,便可获得优质的立方体结构的SiC。随着掺杂浓度的差异得到的晶体结构不同,可表示为β-SiC。β表示不同形态的晶体结构。用离子注入法得到的SiC材料,自身的物理、化学及电学特性优异,表现出高强度、大刚度、内部残余应力很低、化学惰性极强、较宽的禁带宽度(近乎硅的1-2倍)及较高的压阻系数的特性;因此,SiC材料能在高温下耐腐蚀、抗辐射,并具有稳定的电学性质。贺德克HYDAC压力传感器非常适合在高温、恶劣环境下工作的微机电选择使用。 
贺德克HYDAC压力传感器可调的电阻率特性、可调的温度系数、较高的应变灵敏系数及能达到准确调整阻值的特点。所以在研制微传感器和微执行器时,利用多晶硅膜这些电学特性,有时比只用单晶硅更有价值。例如,利用机械性能优异的单晶硅制作感压膜片,在其上覆盖一层介质膜SiO2,再在SiO2上淀积一层多晶硅压阻膜。这种混合结构的微型压力传感器,贺德克HYDAC压力传感器发挥了单晶硅和多晶硅材料各自的优势,其工作高温至少可达200℃,甚至300℃;低温为-60℃。 
贺德克HYDAC压力传感器具有较高的强度/密度比和较高的刚度/密度比。单晶硅具有很好的热导性,是不锈钢的5倍,而热膨胀系数则不到不锈钢的1/7,能很好地和低膨胀Invar合金连接,并避免热应力产生。单晶硅为立方晶体,是各向异性材料。许多机械特性和电子特性取决于晶向,如弹性模量和压阻效应等。单晶硅的电阻应变灵敏系数高。在同样的输入下,可以得到比金属应变计更高的信号输出,一般为金属的10-100倍,能在10^-6级甚至10^-8级上敏感输入信号。贺德克HYDAC压力传感器硅材料的制造工艺与集成电路工艺有很好的兼容性,便于微型化、集成化及批量生产。硅可以用许多材料覆盖,如氮化硅,因而能获得优异的防腐介质的保护。具有较好的耐磨性。 

 

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
网站首页 公司简介 产品中心 招聘中心 技术支持 企业动态 联系我们 管理登陆
上海韬然工业自动化设备有限公司 版权所有 主营:阿托斯ATOS电磁阀,力士乐REXROTH柱塞泵,安沃驰AVENTICS气动阀
邮箱:2849045365@qq.com 地址:上海市宝山区沪太路
GoogleSitemap ICP备案号: 技术支持:化工仪器网
在线客服